微小な角度調整で傾斜研磨が簡単にできる
〈傾斜研磨の例〉
従来の研磨機
かなりの高倍率でないと、積層構造の様子が判らない。
（電極の箔厚：約1.5μ/電極の間隔：約8μ）
IS-POLISHER
厚み方向だけが拡大されるので、電極の感覚のばらつきや曲がり等が視覚的にも強調されて観察できます。
（電極の箔厚：約17μ/電極の間隔：約92μ）
2軸傾斜アジャスタで微小な角度調整を行い、チップコンデンサなどの極小部品の斜め研磨が簡単にできます。斜め研磨を行うことで、厚み方向が拡大され、観察しやすくなります。
また、メッキや薄膜などの断面などに対し、幅広い観察が可能となりました。
斜め研磨の原理
2軸傾斜アジャスタ
傾斜研磨による積層セラミックコンデンサ観察の流れ
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試料台への搭載
試料台にマウンティングワックス等で固定します。傾斜時に試料台が研磨盤に当たらない様に端に付けておきます。
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試料ホルダへ取り付け
試料ホルダに試料台を取り付けます。
この時にホルダの方向と試料の向きを合わせておきます。
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2軸傾斜アジャスタ角度設定
試料ホルダを2軸傾斜アジャスタにセットし、希望する拡大率に合わせて角度を設定します。
2軸傾斜アジャスタの調整機構は5°(4mm)に設定しました。
この場合の拡大率はcosec5°=11.474となります。
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研磨
IS-POLISHERではウェイトキャンセラを使用することで試料ホルダや2軸傾斜アジャスタの自重をも軽減することができます。
そのため包埋しなくてもデリケートな研磨が可能です。
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