試料研磨の常識を覆す、新発想の自動低負荷試料作製システム

  • 試料研磨の常識を覆す、新発想の自動低負荷試料作製システム

    試料研磨の常識を覆す、
    新発想の自動低負荷試料作製システム

研磨の常識を覆す、新発想 の精密研磨技術

半導体の微細化や加工技術の高度化にともない、より微小な部品の分析・観察ニーズが増えています。
しかし従来の研磨機では、要求精度に応えることができず、多くのお客様がお困りでした。
池上精機では、精密研磨を実現する「自動低負荷試料作製システム」を開発。
研究機関での試料研磨から、製造現場での部品研磨まで、幅広いアプリケーションにお応えします。

ー 精密研磨の課題を解決する3つの特徴 ー

  • 1荷重設定を25gから行える
  • 2試料の角度を0.01°単位で変えられる
  • 3研磨量を1〜2μm単位で設定できる

試料研磨機 IS-POLISHER の機能

試料研磨機 IS-POLISHERの機能/特徴

試料研磨機「IS-POLISHER」は、組織を壊さず研磨することができる、新発想の自動低負荷試料作製システムです。
独自開発の「荷重調整機構」と「試料ホルダ」によって、低負荷・低荷重を実現。試料にかかる負荷を減らし、これまで難しいとされてきたEBSD像を得ることができます。

動画でみる試料研磨機

試料研磨機の導入実績

試料研磨機の導入実績

〈お客様からの評価〉

  • Y社/企画開発部
    Y社/企画開発部

    AL合金を研磨してEBSDの分析をした結果、問題なく観察可能であることを確認致しました。ウエイトキャンセラを使用する事で研磨面への荷重コントロールができ、加工歪が低減されました。

    M社/半導体製造部技術課
    M社/半導体製造部技術課

    既存の研磨機より仕上がり良い。包埋が不要のため短時間で結果が得られるので、報告が早くできる。

    P社/開発部
    P社/開発部

    包埋なし、研磨レシピの数値化により研磨作製時間が半減し、毎日使用しています。

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試料研磨機 製品カタログ

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