試料研磨の常識を覆す、新発想の自動低負荷試料作製システム
研磨の常識を覆す、新発想 の精密研磨技術
半導体の微細化や加工技術の高度化にともない、より微小な部品の分析・観察ニーズが増えています。
しかし従来の研磨機では、要求精度に応えることができず、多くのお客様がお困りでした。
池上精機では、精密研磨を実現する「自動低負荷試料作製システム」を開発。
研究機関での試料研磨から、製造現場での部品研磨まで、幅広いアプリケーションにお応えします。
ー 精密研磨の課題を解決する3つの特徴 ー
- 1荷重設定を25gから行える
- 2試料の角度を0.01°単位で変えられる
- 3研磨量を1〜2μm単位で設定できる
試料研磨機 IS-POLISHER の機能
試料研磨機「IS-POLISHER」は、組織を壊さず研磨することができる、新発想の自動低負荷試料作製システムです。
独自開発の「荷重調整機構」と「試料ホルダ」によって、低負荷・低荷重を実現。試料にかかる負荷を減らし、これまで難しいとされてきたEBSD像を得ることができます。
試料研磨の関連情報
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試料研磨機の導入実績
〈お客様からの評価〉
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Y社/企画開発部 AL合金を研磨してEBSDの分析をした結果、問題なく観察可能であることを確認致しました。ウエイトキャンセラを使用する事で研磨面への荷重コントロールができ、加工歪が低減されました。
M社/半導体製造部技術課 既存の研磨機より仕上がり良い。包埋が不要のため短時間で結果が得られるので、報告が早くできる。
P社/開発部 包埋なし、研磨レシピの数値化により研磨作製時間が半減し、毎日使用しています。
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試料研磨の関連書籍のご紹介
IS-POLISHERの開発にご協力いただきました、元東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学科・助教朝倉先生や、専門に研究されている方々が監修される書籍をご紹介いたします。





















