熟練者の経験を数値化｜ISPP-3000
試料研磨機 ISPP-3000
ISPP-3000は、密研磨作業工程での問題点の解決策が凝集されたシステムです。
タッチパネルで、画面に従って操作するだけで、ワンタッチで条件設定ができます。
これまで熟練者に頼っていた研磨作業を自動化し、誰でもかんたんに試料研磨ができるようになります。現場作業の標準化や、作業効率の大幅向上に効果的です。
荷重設定がワンタッチで設定できる
ISPP-1000
ウェイトキャンセラを使って手動で調整する必要がある
ISPP-3000
タッチパネルを使って、ワンタッチで簡単に操作できる
ISPP-3000では、テコの原理を応用したモータによる独自の荷重調整機構を採用。試料と機構の自重を一旦ゼロにしてから、必要最低限の負荷をかけることで、試料にかかる荷重設定を25gから行うことができます。
荷重をかけすぎることで生じる、表面の結晶構造の歪みを抑えることができるため、銅・アルミ・ハンダ・高分子などの柔らかい試料も、歪みなく作製できます。
こんな試料研磨におすすめ
- ・柔らかい試料の研磨
- ・割れやすい、欠けやすい試料の研磨
- ・歪みをなくした研磨
研磨量がワンタッチで設定できる
ISPP-1000
マイクロメータを使って手動で調整する必要がある（調整量は2ミクロン単位）
ISPP-3000
タッチパネルを使って、ワンタッチで簡単に操作できる（調整量は1ミクロン単位）
露出させたい特定部位を消失させないように、削り量を設定する機能です。
研磨中の試料ホルダの下限位置を、1ミクロン単位で設定することができます。設定した削り量に達すると自動停止します。
こんな試料研磨におすすめ
- ・EBSD像の生成
- ・微小、微細部品の研磨
- ・半導体部品、電子部品の研磨
試料角度を0.01°単位で変えられる
専用の傾斜ホルダ（オプション）で、研磨面の傾きが0.01°単位で角度調整できます。
幅の長い電子部品の配列断面や、斜め研磨による拡大観察・面合わせに最適です。
1軸傾斜ホルダ（オプション）
微細な傾斜角を調整
1軸傾斜ホルダは、−3度〜＋3度の傾き補正が容易に行えます。1軸傾斜ユニットの角度調整機構を使ってBGAパッケージのバンプやワイヤボンディング配列断面が全幅にわたって見える様に作製できます。
2軸傾斜アジャスタ（オプション）
全方向の傾斜角を調整
試料ホルダに２軸傾斜アジャスタを装着すると、2本のマイクロユニットによって全方向に最大5度の傾斜角調整ができるようになります。この角度調整機構を使って、斜め研磨による拡大観察や面合わせを行うことが可能です。
試料を直接保持できる
試料形状や目的に応じた試料ホルダを開発。試料を直接つかむため研磨面積を最小限にすることができ、低荷重の研磨が実現します。研磨時間の大幅短縮にも有効です。
光学顕微鏡ですぐに観察できる
〈倒立型光学顕微鏡とカメラをオプション装備〉
倒立型の光学顕微鏡とカメラをオプションで搭載可能。試料を装置から取り外すことなくPCで観察することができます。再現性が高く、確認後すぐに作業を再開できます。
経験の浅い作業者でも操作が簡単
加工条件のメモリ機能
加工条件を保存することで、リピート時の再現性を高めます。
人による仕上がりの差をなくすことができ、経験の少ない方の技術習得までの時間を大幅に短縮します。
〈加工条件の保存・呼び出しの流れ〉
-
待機画面
待機画面で条件入力を確認後、設定を保存できます。
-
保存メモリ選択画面
各工程の条件保存が可能です。（メモリNo.1〜999まで）
-
入力画面
最大38文字のコメント入力が可能です。
-
メモリ選択画面
保存したメモリNo.を呼び出します。
加工パターンの選択機能
回転モードを、タッチパネルで選択して実行することができます。
試料の材質や削り量によって、さまざまなパターンをご用意しています。
〈回転モードの種類〉
回転あり
材料や性質が異なる試料に、幅広く対応
下記のような用途に最適です。
- ・試料面を満遍なく削りたい
- ・試料面を削りかすで傷つけたくない
- ・研磨紙を広範囲で使いたい
回転なし
微細な領域の仕上げを行う
下記のような用途に最適です。
- ・微細な試料を削りたい
- ・小さな部品をあと数ミクロン削りたい
- ・失敗できない試料を少しづつ削りたい
ISPP-3000 仕様
メインユニット
| 占有寸法 | 約630x690x470 （WxDxH） 配管・配線・給水ユニット含まず、可動部分移動範囲含む |
|---|---|
| ターンテーブル径 | φ230 |
| 研磨盤 | 着脱式、研磨材は粘着加工したシート・フィルム状のものを貼付 |
| 使用可能研磨材等 | 耐水研磨紙、研磨フィルム（水、アルコール系研磨液併用可）、 ダイヤモンド/アルミナ/酸化セリウム等を用いたバフ研磨、 コロイダルシリカ等使用よる化学的機械研磨 |
| 重量 | 約55kg |
| ターンテーブル回転数 | 12.5～300rpm（9段階） |
| 回転精度 | 設定値±15%以内 |
| 研磨適用サイズ | Φ1.25インチまで、厚み5㎜幅40㎜までの板状端面等（目安） |
| 電源 | AC100〜240V ±10V 50/60Hz |
| 給水 | 給水経路を組込み済。オプションの給水機より、自動給水可能 |
| 排水口 | 背面側に内径φ12ホース用ニップル |
| 操作パネル | 7インチワイド型LCDタッチパネル |
| スイッチ | 電源スイッチ（照光式）、非常停止ボタンスイッチ |
ヘッド部
| 試料取付方法 | 着脱可能な専用試料ホルダに試料をセットしたものをヘッドへ取付 |
|---|---|
| 試料ホルダ取付け方法 | レバー式 |
| 荷重制御方式 | 電磁式 |
| 荷重調整方法 | ホルダ部機構、試料ホルダおよび試料の自重を、研磨開始直前に自己測定し、設定荷重との差を自動で加重、軽減を行う |
| 荷重設定範囲 | 25~300ｇ |
| 研磨開始・ 停止時の試料移動 | 開始時に自動で下降・盤接触検知、終了時に自動で上昇 |
| 削り量管理 | スライド部に機械式ストッパ機構を持ち、Z軸位置制御により削り量の管理を行う |
| 削り量設定方法 | タッチパネルでの指定数値入力、単位0.001mm、最大5mm |
ヘッド移動機構
| 揺動方式 | XY2軸の移動機構により、円、楕円、直線、うず巻き、花びら状等のパターン動作を行う |
|---|
電源ユニット
| 方式 | スイッチング電源、ワールドワイド対応 |
|---|---|
| 入力 | AC100V～240V±10％ 50/60Hz |
| 出力 | 定格300W |
| AC側ケーブル (付属品) | 1.5m 100V用2Pアースコード付、３Pインレットソケットタイプ |
研磨条件設定項目
| 使用試料ホルダ | 8種と2軸傾斜アジャスタの使用有無を選択 |
|---|---|
| 研磨モード | 回転あり、回転なし（盤静止・揺動のみ） |
| 揺動パターン | だ円、うずまき、花びら状、円、直線（回転あり、なし）、うずまき1回、ジグザグ1回、繰返し（回転なし時のみ）より選択 一部のパターンで、パラメータ選択有（直線の位置、パターン密度など） |
| パターン動作移動速度 | 9段階 |
| 研磨盤回転数 | 12.5, 25, 50, 75, 100, 150, 200, 250, 300rpm（9段階） |
| 研磨盤の回転方向 | CW、CCW |
| 研磨荷重 | 25, 50, 75, 100, 125, 150, 175, 200, 225, 250, 275, 300g （12段階） |
| 給水 | あり（オプションの給水機を研磨時に自動でON/OFF）、なし（ドライ） |
| 研磨時間 | 分、秒をテンキー入力、最大99分59秒 |
| 条件設定メモリ機能 | 設定された状態をメモリすることが可能（最大999件）、直前の設定状態の呼び出し、メモリした設定の呼び出し |
研磨盤
| サイズ | φ230 |
|---|---|
| 材質・処理 | アルミ製 耐食ニッケルメッキ仕上 |
| 使用方法 | 粘着加工された耐水紙、研磨フィルム、研磨布等を貼付、本体ターン |
外観寸法図
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