試料形状や目的に応じた試料ホルダを開発
試料を直接保持できるので、大幅な時間短縮が実現

試料の形状にあわせて、さまざまな試料ホルダをご用意しています。
どんな試料でも確実につかみ、包埋ケースを使わない低負荷研磨を実現します。

試料ホルダの種類

再現性の高い、ワンタッチ装着機構

再現性の高い装着機構を採用。ワンタッチで、精度の高い試料ホルダの着脱が可能です。

試料台に試料を直接貼り付け、V形ホルダーで挟み込みます。従来必要であった「包埋ケース」は使用しません。

試料を貼り付けたホルダーを、研磨機に装着しクランプします。精度の高い着脱がワンタッチで可能です。

研磨事例のカテゴリー

半導体

電子部品

金属

高分子

鉱物・岩石

その他