角度調整機能
角度調整機能で、試料角度を0.01°単位で変えられる
専用の傾斜ホルダ（オプション）で、研磨面の傾きが0.01°単位で角度調整できます。
幅の長い電子部品の配列断面や、斜め研磨による拡大観察・面合わせに最適です。
1軸傾斜ホルダ（オプション）
微細な傾斜角を調整
1軸傾斜ホルダは、−3度〜＋3度の傾き補正が容易に行えます。1軸傾斜ユニットの角度調整機構を使ってBGAパッケージのバンプやワイヤボンディング配列断面が全幅にわたって見える様に作製できます。
2軸傾斜アジャスタ（オプション）
全方向の傾斜角を調整
試料ホルダに２軸傾斜アジャスタを装着すると、2本のマイクロユニットによって全方向に最大5度の傾斜角調整ができるようになります。この角度調整機構を使って、斜め研磨による拡大観察や面合わせを行うことが可能です。
研磨事例のカテゴリー
お問い合わせフォーム
試料研磨・精密研磨に関するご相談は、下記フォームからお気軽にお問い合わせください
経験豊かなエンジニアが直接ご相談に応じます
